設備：X射線光電子能譜儀/紫外光電子能譜儀Nexsa

廠商：ThermoFisher

用途：利用X射線或紫外線照射樣品激發(fā)光電子，通過分析檢測和分析光電子動能大小與光電子信號強度的關系，確定樣品中所含的元素種類及其化學態(tài)。

技術指標：

l  能力分辨率及靈敏度：XPS能量分辨率≤0.5ev，UPS能量分辨率≤120mev；XPS靈敏度≥4000000cps，UPS靈敏度≥2200000cps

l  電子能量分析器：能量掃描范圍5ev-3000ev，最小能量步長3mev；通過能為1ev-400ev，連續(xù)可調

l  角分辨XPS角度分辨優(yōu)于1°

l  測試樣品厚度≤20mm

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